Refractómetro Semicon K−PATENTS® PR-33-S de Vaisala

El Refractómetro Semicon K−PATENTS® PR-33-S de Vaisala monitorea la concentración de los productos químicos de la fabricación en ambientes de salas limpias y en las herramientas de proceso integradas (mezcla, limpieza, grabado y CMP).
El modelo PR-33-S consiste en un cuerpo de celda de flujo de PTFE modificado ultrapuro y un cable Ethernet que cualquier interruptor estándar PoE (Power-over-Ethernet: Alimentación a través de Ethernet) puede utilizar para transmitir energía al sensor y los datos a una computadora. El modelo PR-33-S monitorea las concentraciones químicas en tiempo real y proporciona una señal de salida de Ethernet y retroalimentación inmediata, si la química está fuera de las especificaciones. Por ejemplo, las alarmas de baja y alta concentración pueden configurarse para controlar y aumentar la vida útil del baño. La concentración se determina al realizar una medición óptica del índice de refracción nD de la solución y la temperatura.

El PR-33-S se monta directamente en línea con un pilar o accesorio acampanado. El PR-33-S tiene una construcción compacta y libre de metales y solo necesita una superficie pequeña.